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半导体电阻率测试仪

简要描述:

JH-WSP-6型半导体电阻率测试仪是专用于各种半导体材料包括:片状硅料、晶体、晶体等的电阻率测定的设备,测定范围:0.01-199.99欧姆厘米,是生产厂家硅料分选测试的理想工具。
1、 主要技术指标:

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半导体电阻率测试仪/四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/四探针电阻率测定仪/电阻率测试仪型号:JH-WSP-6

JH-WSP-6型半导体电阻率测试仪是专用于各种半导体材料包括:片状硅料、晶体、晶体等的电阻率测定的设备,测定范围:0.01-199.99欧姆厘米,是生产厂家硅料分选测试的理想工具。

1、 主要技术指标:

电源:220V交流

可测晶片直径(zui大)Ф100mm,方形230×220mm

恒流源:电流量程为0.01~1mA连续可调,误差≦±0.5%。

数字电压表:量程:0.1~200mV,zui大分辨率:100μV

电阻率显示:三位半数字显示:小数点、极性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。厘米

输入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω

测量精度:±0.1。

zui大电阻测量误差(按JJG508-87进行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。

重掺检测误差(JJG508-87进行):1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%

测量环境:温度23±2℃,相对湿度≤65%

2、操作程序:

  1、首先连好电源,打开后面板电源开关,电源指示灯亮,表示待机完毕。

  2、校准设备:厚度小于3.98mm取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪,测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪

  3、测试:用四探针接触硅材料,以探针压下三分之二为准,待仪器显示数字稳定即可,

  4校验:在测试过程中要求2小时用标准样块校准一次设备,

3、 针组件;维护及注意事项:

  1、一般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外, 针的维护主要包括针头的更换和针头的清理清洁工作

  2、维护后的安装及维护过程中,必须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑(1234)位置排列

 

 

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